Jaeger, R. C. (1988). Introduction to microelectronic fabrication. Addison-Wesley.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Jaeger, Richard C. Introduction to Microelectronic Fabrication. New York: Addison-Wesley, 1988.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Jaeger, Richard C. Introduction to Microelectronic Fabrication. Addison-Wesley, 1988.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.