Jaeger, R. C. (1988). Introduction to microelectronic fabrication. Addison-Wesley.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Jaeger, Richard C. Introduction to Microelectronic Fabrication. New York: Addison-Wesley, 1988.
Цитирование MLA (9-е изд.)Jaeger, Richard C. Introduction to Microelectronic Fabrication. Addison-Wesley, 1988.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.