Introduction to microelectronic fabrication.

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Jaeger, Richard C.
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: New York : Addison-Wesley, 1988.
Խորագրեր:
Classic Catalogue: View this record in Classic Catalogue
Նկարագրություն
Ֆիզիկական նկարագրություն:xiii, 232 pages.
ISBN:0201146959