Style de citation APA (7e éd.)

Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. Cambridge University Press.

Style de citation Chicago (17e éd.)

Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. Cambridge University Press.

Style de citation MLA (9e éd.)

Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. Cambridge University Press.

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