Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. Cambridge University Press.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. Cambridge University Press.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. Cambridge University Press.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.