Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
| Формат: | Электронный ресурс Журнал |
|---|---|
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
Cambridge University Press
|
| Online-ссылка: | Full text available on Research4Life (HINARI,AGORA,OARE,ARDI & GOALI) |