Citação norma APA

Griffiths, J. Monitoring and Control of Plasma-Enhanced Processing of Semiconductors. SPIE Digital Library.

Citação norma Chicago

Griffiths, James. Monitoring and Control of Plasma-Enhanced Processing of Semiconductors. SPIE Digital Library.

Citação norma MLA

Griffiths, James. Monitoring and Control of Plasma-Enhanced Processing of Semiconductors. SPIE Digital Library.

Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.