Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control III. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control III. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 9)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control III. SPIE Digital Library.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..