Lin, B. Optical/Laser Microlithography II. SPIE Digital Library.
Dyfyniad Arddull ChicagoLin, Burn. Optical/Laser Microlithography II. SPIE Digital Library.
Dyfyniad MLALin, Burn. Optical/Laser Microlithography II. SPIE Digital Library.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.