Yanof, A. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology: Submicrometer Lithographies VIII. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Yanof, Arnold. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology: Submicrometer Lithographies VIII. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Yanof, Arnold. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology: Submicrometer Lithographies VIII. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.