Surface and Interface Analysis of Microelectronic Materials Processing and Growth

Бібліографічні деталі
Інші автори: Brillson, Leonard
Формат: Електронний ресурс eКнига
Мова:Англійська
Опубліковано: SPIE Digital Library, 2/5/90
Предмети:
Онлайн доступ:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Опис
Опис примірника:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Фізичний опис:1 online resource
Формат:Mode of access: Internet
ISBN:9780819402226
Доступ:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students