APA-ийн эшлэл(7 дахь хэвлэлт)

Arnold, W. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control IV. SPIE Digital Library.

Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)

Arnold, William. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control IV. SPIE Digital Library.

MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)

Arnold, William. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control IV. SPIE Digital Library.

Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.