Pol, V. Optical/Laser Microlithography III. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfPol, Victor. Optical/Laser Microlithography III. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfPol, Victor. Optical/Laser Microlithography III. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..