Arnold, W. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control V. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Arnold, William. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control V. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Arnold, William. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control V. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.