Arnold, W. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control V. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումArnold, William. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control V. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումArnold, William. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control V. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.