Wiley, J. 10th Annual Symp on Microlithography. SPIE Digital Library.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Wiley, Jim. 10th Annual Symp on Microlithography. SPIE Digital Library.
Citatione MLA (9a ed.)Wiley, Jim. 10th Annual Symp on Microlithography. SPIE Digital Library.
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