Commercial Applications of Precision Manufacturing at the Sub-Micron Level

Бібліографічні деталі
Інші автори: Baker, Lionel
Формат: Електронний ресурс eКнига
Мова:Англійська
Опубліковано: SPIE Digital Library, 4/1/92
Предмети:
Онлайн доступ:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)