Davis, C. Process Module Metrology, Control and Clustering. SPIE Digital Library.
Style de citation Chicago (17e éd.)Davis, Cecil. Process Module Metrology, Control and Clustering. SPIE Digital Library.
Style de citation MLA (9e éd.)Davis, Cecil. Process Module Metrology, Control and Clustering. SPIE Digital Library.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.