Peckerar, M. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումPeckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումPeckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.