Peckerar, M. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Peckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Peckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.