Peckerar, M. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoPeckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Citação norma MLAPeckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.