Peckerar, M. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Peckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Peckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.