Peckerar, M. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Peckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Peckerar, Martin. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.