Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II
| Tác giả khác: | |
|---|---|
| Định dạng: | Điện tử eBook |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Anh |
| Được phát hành: |
SPIE Digital Library,
7/9/92
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library) |
| Mô tả sách: | <strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong> |
|---|---|
| Mô tả vật lý: | 1 online resource |
| Định dạng: | Mode of access: Internet |
| số ISBN: | 9780819408266 |
| Truy cập: | Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students |