Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing II

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Peckerar, Martin
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 7/9/92
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Παρόμοια τεκμήρια