Postek, M. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control VI. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Postek, Michael. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control VI. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Postek, Michael. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control VI. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.