Postek, M. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control VI. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Postek, Michael. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control VI. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Postek, Michael. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control VI. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.