Diazonaphthoquinone-based Resists

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Dammel, Ralph R.
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: SPIE Digital Library, 1/1/93
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
الوصف
وصف المادة:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
وصف مادي:1 online resource
التنسيق:Mode of access: Internet
ردمك:9780819410191
9781510607989
وصول:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students