Patterson, D. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing III. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Patterson, David. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing III. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Patterson, David. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing III. SPIE Digital Library.
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