Цитирование APA (7-е изд.)

Patterson, D. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing III. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Patterson, David. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing III. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (9-е изд.)

Patterson, David. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing III. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.