Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing III

Bibliografiske detaljer
Andre forfattere: Patterson, David
Format: Electronisk eBog
Sprog:engelsk
Udgivet: SPIE Digital Library, 6/24/93
Fag:
Online adgang:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Lignende værker