Brunner, T. Optical/Laser Microlithography VII. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfBrunner, Timothy. Optical/Laser Microlithography VII. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfBrunner, Timothy. Optical/Laser Microlithography VII. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..