Chen, F. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Citace podle Chicago (17th ed.)Chen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Citace podle MLA (9th ed.)Chen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..