Chen, F. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Chen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Chen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.