Chen, F. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումChen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումChen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.