Chen, F. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Chen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Chen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.