Chen, F. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Chen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Chen, Fusen. Microelectronics Technology and Process Integration. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.