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Warlaumont, J. Electron-Beam, X-Ray, EUV, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing V. SPIE Digital Library.

Citação norma Chicago

Warlaumont, John. Electron-Beam, X-Ray, EUV, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing V. SPIE Digital Library.

Citação norma MLA

Warlaumont, John. Electron-Beam, X-Ray, EUV, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing V. SPIE Digital Library.

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