Hoy Bennett, M. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control IX. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Hoy Bennett, Marylyn. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control IX. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Hoy Bennett, Marylyn. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control IX. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.