Brunner, T. Optical/Laser Microlithography VIII. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Brunner, Timothy. Optical/Laser Microlithography VIII. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Brunner, Timothy. Optical/Laser Microlithography VIII. SPIE Digital Library.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.