Brunner, T. Optical/Laser Microlithography VIII. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Brunner, Timothy. Optical/Laser Microlithography VIII. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Brunner, Timothy. Optical/Laser Microlithography VIII. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.