Sabnis, A. Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումSabnis, Anant. Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումSabnis, Anant. Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.