Postek, M. Microlithography and Metrology in Micromachining. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումPostek, Michael. Microlithography and Metrology in Micromachining. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումPostek, Michael. Microlithography and Metrology in Micromachining. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.