Postek, M. Microlithography and Metrology in Micromachining. SPIE Digital Library.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Postek, Michael. Microlithography and Metrology in Micromachining. SPIE Digital Library.
Citatione MLA (9a ed.)Postek, Michael. Microlithography and Metrology in Micromachining. SPIE Digital Library.
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