Postek, M. Microlithography and Metrology in Micromachining. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoPostek, Michael. Microlithography and Metrology in Micromachining. SPIE Digital Library.
Citação norma MLAPostek, Michael. Microlithography and Metrology in Micromachining. SPIE Digital Library.
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