Цитирование APA (7-е изд.)

Jones, S. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography X. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Jones, Susan. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography X. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (9-е изд.)

Jones, Susan. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography X. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.