Hayashi, N. Photomask Technology 2015. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Hayashi, Naoya. Photomask Technology 2015. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Hayashi, Naoya. Photomask Technology 2015. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.