Behringer, U. 37th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Behringer, Uwe. 37th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Behringer, Uwe. 37th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.