APA-ийн эшлэл(7 дахь хэвлэлт)

Naulleau, P. P. International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2023. SPIE Digital Library.

Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)

Naulleau, Patrick P. International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2023. SPIE Digital Library.

MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)

Naulleau, Patrick P. International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2023. SPIE Digital Library.

Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.