Behringer, U. 30th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Behringer, Uwe. 30th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Behringer, Uwe. 30th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.